http://www.amtechsystems.com/


ＤＳＩでは横型炉のウエハ自動移載機メーカー、米国アムテック社と業務
提携しております。
アムテック社の移載装置はオペレータの負担を軽減するだけでなく、パー
ティクルの削減に大きく貢献し、世界中のウエハ・デバイスメーカーで高
く評価され、導入されております。 


８インチ３段炉への実装写真


Ｅ−３００システム
Ｓ−３００システム
ＩＢＡＬシステム